超音波反射面が抛物面である超音波洗浄機

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-089063
公開番号（公開出願番号）：特開平8-281230
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：

【要約】【目的】従来よりもシンプルな構造や動作をもって、超音波を洗浄液噴出口に集中させることができる超音波洗浄機を提供する。【構成】本発明の超音波洗浄機は、洗浄液貯留室10に洗浄液供給口14から洗浄液(純水)を供給し、前記洗浄液貯留室から延びるノズル12の先端にある洗浄液噴出口13から洗浄液を被洗浄物(半導体基板)に噴出させ、洗浄液貯留室に取り付けられた超音波振動子15を駆動して、噴出する洗浄液とともに超音波を洗浄液噴出口から被洗浄物に照射する。この場合、洗浄液貯留室の壁面の一部は、超音波反射面11として前記ノズルの洗浄液噴出口を焦点位置とする抛物面に形成されている。超音波振動子15は、超音波反射面に超音波を照射して超音波反射面で反射させ、超音波を洗浄液噴出口に集中させる。集中した超音波は、噴出する洗浄液と協働して被洗浄物を効率的に洗浄する。

請求項（抜粋）：

板状部材で箱形に形成された洗浄液貯留室に洗浄液を供給し、前記洗浄液貯留室から延びるノズルの先端にある洗浄液噴出口から前記洗浄液を被洗浄物に噴出させ、洗浄液貯留室に取り付けられた超音波振動子を駆動して、前記噴出する洗浄液とともに超音波を前記被洗浄物に照射する超音波洗浄機において、前記洗浄液貯留室の壁面の一部は、超音波反射面として前記ノズルの洗浄液噴出口を焦点位置とする抛物面に形成され、前記超音波振動子は、前記超音波反射面に超音波を照射して反射させ、反射させた超音波が洗浄液噴出口に集中するように取り付けられていることを特徴とする超音波洗浄機。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-095521
噴射形超音波洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-098550 出願人：株式会社国際電気エルテック, 株式会社渡邊商行
集束超音波によるクリーニング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-080080 出願人：株式会社サタコエンジニヤリング, 川村雅恭, 伊藤洋一

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