特許

J-GLOBAL ID：200903044144210037

直列接続されたキャパシタを有するMEMSデバイス装置

発明者： ペーター へー ステーネケン ,  ケヴィン アール ボイル ,  アントニウス イェー エム デ グラアウ ,  テオドール へー エス エム ライクス ,  ヨーゼフ テー エム ファン ベーク
出願人/特許権者： エヌエックスピー ビー ヴィ
代理人 (7件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  杉本 博司 ,  星 公弘 ,  二宮 浩康 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-546788
公開番号（公開出願番号）：特表2009-521128
出願日： 2006年12月18日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：

RF用途のためのチューナブルキャパシタ装置において、制御信号に従い可変である直列接続された2つのMEMS可変キャパシタが設けられている。直列接続によってキャパシタはいっそう高い電圧に耐えられるようになる。なぜならば、そのように高い電圧は直列接続された個々のキャパシタによって分配されるからである。各キャパシタごとの電極サイズ増大は、ばね支援型の可動電極のサイズ低減によって相殺される。容量がいっそう大きいことから、これらのばねに対しいっそう大きい剛性をもたせることができる。つまりこのことはばねが短くなることを意味し、その結果、静止摩擦、抵抗ならびに緩慢なスイッチングの問題も低減できる。キャパシタは固定電極と可動電極を有しており、ばねがRF信号を搬送しなくても済むよう、固定電極にRF信号が供給される。これによって、ばねのインダクタンスと抵抗の問題を低減できる。

請求項（抜粋）：

チューナブルキャパシタ装置において、 2つ以上の可変キャパシタ(C1,C2;C4,C5,C6,C7)が設けられており、 各可変キャパシタは可動電極(e2)と、制御信号に従い容量を変化させるため該可動電極を動かすマイクロエレクトロメカニカル構造体(k,k/2)を有しており、 前記可変キャパシタは直列に接続されていることを特徴とする、 チューナブルキャパシタ装置。

IPC (1件)：

H01G 5/16

FI (1件)：

H01G5/16

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 容量可変型キャパシタ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-321026   出願人：ソニー株式会社
• 回路素子及びその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-257390   出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド