特許

J-GLOBAL ID：200903044149176031

試料観察用プレートおよび観察装置

発明者： 村松 宏 ,  本間 克則 ,  江川 明
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295842
公開番号（公開出願番号）：特開2000-314696
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】 表面が原子レベルで平滑で、安価な試料観察プレートを提供することで、分子レベルの形状観察と光学観察を可能にする。【解決手段】 分子レベルの形状及び光学情報の観察を行う機器で使用する試料観察用プレートにおいて、ガラス板11に結晶状薄膜13を接着することによって、試料観察用プレート20を構成した。さらに、この試料観察用プレート20を用いて観察装置を構成した。

請求項（抜粋）：

分子レベルの形状及び光学情報の観察を行う機器で使用する試料観察用プレートにおいて、透明基板に結晶状薄膜が接着されることによって構成されていることを特徴とする試料観察用プレート。