特許

J-GLOBAL ID：200903044211555737

反射屈折縮小対物レンズ

発明者： ビルキット メッキング ,  オラフ ディットマン ,  トラルフ グルーナー ,  フラディミール カメノフ ,  マルティン ブルノッテ
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-514856
公開番号（公開出願番号）：特表2005-531021
出願日： 2003年06月25日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】 パターンのさまざまな構造方向について、構造方向に依存したコントラスト差がほとんどない結像を可能にする反射屈折投影対物レンズを提供する。【解決手段】 物体面上に配置されたパターンを像面に投影するための反射屈折投影対物レンズであって、凹面鏡(17、36、41)及び第1全反射型偏向鏡(16)と共に少なくとも1つの第2全反射型偏向鏡(19)を有する反射屈折対物レンズ部分(15)が、前記物体面及び前記像面間に配置され、通過する光の好適な偏光方向を回転させる偏光回転体(26、37)が、前記第1偏向鏡及び前記第2偏向鏡間に配置され、それによって前記偏向鏡の反射率及び/または位相における偏光依存差を補償する、反射屈折投影対物レンズ。

請求項（抜粋）：

物体面上に配置されたパターンを像面に投影するための反射屈折投影対物レンズであって、凹面鏡(17、36、41)及び第1全反射型偏向鏡(16)と共に少なくとも1つの第2全反射型偏向鏡(19)を有する反射屈折対物レンズ部分(15)が、前記物体面及び前記像面間に配置され、通過する光の好適な偏光方向を回転させる偏光回転体(26、37)が、前記第1偏向鏡及び前記第2偏向鏡間に配置され、それによって前記偏向鏡の反射率及び/または位相における偏光依存差を補償する、反射屈折投影対物レンズ。

IPC (4件)：

G02B13/24 ,  G02B13/14 ,  G02B17/08 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G02B13/24 ,  G02B13/14 ,  G02B17/08 Z ,  H01L21/30 515D

Fターム (14件)：

2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA04 ,  2H087RA41 ,  2H087TA01 ,  2H087TA05 ,  2H087UA03 ,  2H087UA04 ,  5F046BA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CB11 ,  5F046CB12 ,  5F046CB15 ,  5F046CB25

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 欧州特許964282A2
  
• 欧州特許0602923B1
  
• 米国特許5,715,084
  
• 欧州特許第0608572号
  
• 米国特許第5,537,260号
  

審査官引用 (4件)

• 偏光光学補正対物レンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-308458   出願人：カール・ツアイス・スティフツング
• マイクロリソグラフィーによる接線偏光型投影露光
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-044689   出願人：カール・ツアイス・スティフツング
• 反射屈折投影光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-090837   出願人：株式会社ニコン
• 反射屈折縮小投影光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-276592   出願人：株式会社ニコン

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Intrinsic birefringence in calcium fluoride and barium fluoride