特許
J-GLOBAL ID:200903044216861623
X線分析装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤本 英夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-142737
公開番号(公開出願番号):特開2000-329713
出願日: 1999年05月24日
公開日(公表日): 2000年11月30日
要約:
【要約】【課題】 試料を光学的に観察する場合、これを見やすくするとともに、測定の妨げとなるシステムピークを生じさせないようにして、所望のX線分析を確実にしかも精度よく行うことができるX線分析装置を提供すること。【解決手段】 試料12が配置される試料室11と、前記試料12に対して照射される一次X線aが通過するとともに、この一次X線aが試料12に照射されたときに生ずる二次X線bを検出するX線検出器14が配置されたX線照射室7とをX線透過性の隔膜10で区画するとともに、前記X線照射室7内を真空状態にしてなるX線分析装置において、前記隔膜10を、Na〜Uまでの元素を含まない樹脂よりなる補強部材25によって補強するようにしている。
請求項(抜粋):
試料が配置される試料室と、前記試料に対して照射される一次X線が通過するとともに、この一次X線が試料に照射されたときに生ずる二次X線を検出するX線検出器が配置されたX線照射室とをX線透過性の隔膜で区画するとともに、前記X線照射室内を真空状態にしてなるX線分析装置において、前記隔膜を、Na〜Uまでの元素を含まない樹脂よりなる透明な補強部材によって補強するようにしたことを特徴とするX線分析装置。
Fターム (22件):
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001EA03
, 2G001GA01
, 2G001GA08
, 2G001GA16
, 2G001HA09
, 2G001JA14
, 2G001KA01
, 2G001NA05
, 2G001NA14
, 2G001NA16
, 2G001PA01
, 2G001PA07
, 2G001PA11
, 2G001PA14
, 2G001SA01
, 2G001SA02
, 2G001SA13
, 2G001SA29
引用特許:
審査官引用 (4件)
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蛍光X線分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-173546
出願人:株式会社堀場製作所
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放射線透過窓構体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-307470
出願人:株式会社東芝
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特公平3-035774
-
X線顕微鏡用試料容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-130497
出願人:株式会社ニコン
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