特許

J-GLOBAL ID：200903044228057471

微動位置決め制御装置

発明者： 涌井 伸二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132405
公開番号（公開出願番号）：特開平7-319549
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 位置決め対象物の運動モードごとのフィードバック特性を互いに非干渉化し、制御特性の改善を容易にする。【構成】 位置決め対象物の所定の箇所をそれぞれ駆動するアクチュエータ2M,2R,2Lと、移動距離を計測する位置センサ3M,3R,3Lと、電気信号に変換する変位増幅器4M,4R,4Lと、前記変位増幅器の出力zR ,zL ,zM から運動モードの変位信号zg ,zθx ,zθy を抽出する運動モード抽出回路10と、変位信号出力を指令電圧5M’,5R’,5L’と比較して運動モード偏差信号eg ,eθx ,eθy を取得し、所定の感度となす偏差増幅器6M,6R,6Lと、それぞれ独立にループ特性の補償を行なう補償器7M,7R,7Lと、前記補償器の出力cg ,cθx ,cθy を入力信号として駆動信号dg ,dθx ,dθy を生成する運動モード分配回路9と、アクチュエータを駆動する電力増幅器8M,8R,8Lとを備える。

請求項（抜粋）：

位置決め対象物を駆動する複数個のアクチュエータと、前記対象物の移動距離を計測する複数個の位置センサと、前記各位置センサの出力を電気信号に変換する変位増幅器と、前記変位増幅器の出力信号を入力とする演算によって前記対象物に関する複数個の運動モードの運動モード別変位信号を抽出する運動モード抽出回路と、前記運動モード別変位信号をそれぞれその変位信号に対応する指令電圧と比較して運動モード別偏差信号を取得し、各偏差信号を所定の感度となす偏差増幅器と、前記偏差増幅器の複数個の各出力に対してそれぞれ独立に補償を行なう補償器と、前記補償器の出力信号を入力とする演算によって前記各アクチュエータに対する駆動信号を生成する運動モード分配回路と、前記駆動信号に応動して前記アクチュエータを駆動する電力増幅器とを備えることを特徴とする微動位置決め制御装置。

IPC (5件)：

G05D 3/12 305 ,  B23Q 15/26 ,  G05D 3/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 微動位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-240088   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平3-185502
  
• 特開昭63-003317