スリットノズルの洗浄方法及び洗浄機構

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-201839
公開番号（公開出願番号）：特開2003-010767
出願日： 2001年07月03日
公開日（公表日）： 2003年01月14日
要約：

【要約】【課題】残留した固形化しつつある塗布液を、作業能率の低下を招くことなく完全に除去することのできるスリットノズルの洗浄方法、及び洗浄機構を提供すること。【解決手段】スリットノズル先端部に対し、1)下方、後方の位置に、その射出口を仰角θ1 で設けた第一洗浄ノズルの射出口から洗浄液を噴射してスリットノズル先端部の固形化しつつある塗布液を溶解除去し、2)上方、後方の位置に、その射出口を伏角θ2 で設けた第二洗浄ノズルの射出口からエアーを噴射して残った洗浄液を乾燥除去し、スリットノズル先端部を洗浄すること。

請求項（抜粋）：

基板上に塗布液を塗布するスリットコータのスリットノズルの洗浄において、垂直に設けられたスリットノズル先端部に対し、1)スリットノズル先端部の吐出口にある原点の下方、後方の位置に、その射出口を仰角θ1 で該原点に向けて設けられた第一洗浄ノズルの射出口から洗浄液を噴射してスリットノズル先端部に残留し固形化しつつある塗布液を溶解除去し、2)スリットノズル先端部の吐出口にある原点の上方、後方の位置に、その射出口を伏角θ2 で該原点に向けて設けられた第二洗浄ノズルの射出口からエアーを噴射してスリットノズル先端部に残った洗浄液を乾燥除去し、スリットノズル先端部を洗浄することを特徴とするスリットノズルの洗浄方法。

IPC (3件)：

B05C 5/02 , B05B 15/02 , B08B 3/02

FI (3件)：

B05C 5/02 , B05B 15/02 , B08B 3/02 F

Fターム (16件)：

3B201AA46 , 3B201BB22 , 3B201BB92 , 3B201CC12 , 4D073AA09 , 4D073BB01 , 4D073BB03 , 4D073CC04 , 4D073CC07 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB02 , 4F041BA05 , 4F041BA60 , 4F041CA02 , 4F041CA28

引用特許：

審査官引用 (6件)

塗布装置及び塗布方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-027849 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
塗装ノズルの目詰まり防止方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-330991 出願人：日産アルティア株式会社, 日産自動車株式会社, 中央電子計測株式会社
薬液塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-197260 出願人：日本電気株式会社

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