特許
J-GLOBAL ID:200903044326406530
光検出器および放射線検出装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-062156
公開番号(公開出願番号):特開2004-273747
出願日: 2003年03月07日
公開日(公表日): 2004年09月30日
要約:
【課題】光電変換素子が占める面積の割合を高く維持し、製造歩留まりの向上が可能な光検出器および放射線検出装置を提供すること。【解決手段】回路基板上に複数の放射線受線モジュールを有し、かかる放射線受線モジュールは、二次元シンチレータアレイ3と、光電変換器4とを有する。光電変換器4は、基板12と、基板12上面に形成された溝部13a〜13dに埋め込まれたフォトダイオードアレイ14a〜14dとを備え、二次元シンチレータアレイ3は、フォトダイオードアレイ14a〜14dが備えるフォトダイオード素子15に対応して配置されたシンチレータ素子10と、シンチレータ素子10間に配置されたセパレータ11とを備える。かかる構造を有することによって製造歩留まりを向上し、基板12の上面において光電変換素子たるフォトダイオード素子15の占有面積を向上させている。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
所定の電気回路および入力端子を備えた回路基板上に複数の光電変換器を配置した光検出器であって、
前記光電変換器は、
前記入力端子に対応した出力端子および表面上に前記出力端子と電気的に接続された入力パッドを備えた基板と、
前記入力パッドとほぼ同一の平面を形成するよう配置され、前記入力パッドと電気的に接続された出力電極と、該出力電極と電気的に接続され、受光強度に応じた電気信号を出力する光電変換素子とを一次元状に配列した一次元光電変換素子アレイを素子配列方向と垂直方向に複数配列した二次元光電変換部と、
を備えたことを特徴とする光検出器。
IPC (3件):
H01L31/09
, G01T1/20
, G01T7/00
FI (4件):
H01L31/00 A
, G01T1/20 E
, G01T1/20 G
, G01T7/00 A
Fターム (21件):
2G088EE02
, 2G088FF02
, 2G088GG13
, 2G088GG19
, 2G088GG20
, 2G088JJ04
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ33
, 2G088JJ37
, 5F088AA01
, 5F088BA15
, 5F088BA18
, 5F088BB03
, 5F088BB07
, 5F088EA04
, 5F088EA11
, 5F088EA13
, 5F088EA16
, 5F088GA08
, 5F088HA15
引用特許:
審査官引用 (3件)
-
半導体放射線検出器およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-058282
出願人:株式会社ジャパンエナジー
-
半導体装置とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-214338
出願人:富士フイルムマイクロデバイス株式会社, 富士写真フイルム株式会社
-
太陽電池板
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-102409
出願人:三菱電機株式会社
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