ワイヤボンデイング方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-110241
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297220
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】オフセットのずれ量が自動的に修正され、また修正精度の向上が図れると共に、経時的なオフセットの変動も修正可能とする。【構成】ワイヤボンデイング後にボンデイングされたボール又はキャピラリの圧痕の上方に前記試料検出中心軸を移動させるオフセットの修正時期及びオフセット修正手順が記憶されたオフセット修正用制御メモリ35と、オフセット量が記憶されたオフセットメモリ39と、オフセット修正用制御メモリ35によりXYテーブルを駆動してカメラ11の試料検出中心軸を前記ボール又はキャピラリの圧痕の上方に移動させ、画像処理部20の演算制御部24で算出したずれ量によってオフセットメモリ39に記憶されているオフセットの量を補正する装置駆動部30の演算制御部36とを備えている。

請求項（抜粋）：

リードフレームに半導体チップが付着された試料にワイヤボンデイングするキャピラリと、このキャピラリと一定のオフセット量を持って配設された試料検出中心軸を有するカメラと、キャピラリ及びカメラを共にXY軸方向に駆動するXYテーブルとを備え、前記カメラで試料のずれ量を検出してボンデイング座標を修正し、前記オフセット量だけ移動させて予め定められたプログラムに従って前記修正されたボンデイング座標にキャピラリを順次移動させてボンデイングするワイヤボンデイング方法において、ワイヤボンデイング後にボンデイングされたボール又はキャピラリの圧痕の上方に前記試料検出中心軸が移動するように前記XYテーブルが自動的に駆動され、ボール又はキャピラリの圧痕の位置ずれを検出して前記オフセットのずれ量を補正することを特徴とするワイヤボンデイング方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭59-069939
ワイヤボンディング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-238529 出願人：株式会社東芝

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