ウェハの載置姿勢検出方法、ウェハのプリアライメント方法及びウェハのプリアライメント装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細江利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-114402
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313887
出願日： 2001年04月12日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】 1回の測定作業により、ウェハの偏芯量(X-Y方向偏差)と、基準方向に対するノッチ又はオリフラの中心位置のずれ量を同時に検出する方法を提供する。【解決手段】回転装置の上に載せたウェハを回転し、その外周位置の測定データより、最小2乗法により測定データを補正する。そしてこの値に基づき、回転装置の中心とウェハ中心の位置のずれを算出する。そして、ノッチ又はオリフラの測定値を回帰することにより、それらの中心位置を算出する。そして、これらの位置より、ノッチ又はオリフラが基準方向を向くようにするための回転装置の回転量を算出する。

請求項（抜粋）：

回転装置に載置されたウェハを回転させ、ラインセンサでその外周の変動値を調べ、回転装置の中心に対するウェハ偏芯量と、ウェハ中心における基準方向に対するノッチ又はオリフラの角度を求めるウェハの載置姿勢検出方法であって、ラインセンサの測定値の変化率が所定値以上となる区間を検出し、それらの区間を除いた位置でのラインセンサの測定値を使用して、回転装置の中心に対するウェハの偏芯量を求め、前記ラインセンサの測定値の変化率が所定値以上となる区間、又は当該区間の端部付近で、前記ラインセンサの測定値を、前記偏芯による測定値の変化分を考慮して補正して、補正後のデータより、ウェハ中心における基準方向に対するノッチ又はオリフラの中心点の角度を求めることを特徴とするウェハの載置姿勢検出方法。

Fターム (14件)：

5F031CA02 , 5F031HA53 , 5F031HA59 , 5F031JA03 , 5F031JA15 , 5F031JA28 , 5F031JA29 , 5F031JA34 , 5F031JA35 , 5F031JA36 , 5F031JA51 , 5F031KA06 , 5F031KA13 , 5F031KA14

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-169939
ウエハ位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-217935 出願人：株式会社安川電機
特開平1-169939

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