特許

J-GLOBAL ID：200903095544966584

ウエハ位置決め装置

発明者： 島田 克彦 ,  野林 繁美
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-217935
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064660
出願日： 1994年08月19日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【構成】 ターンテーブル上のウエハ周縁部に照明し、ウエハ外周の情報からウエハの中心位置およびオリフラ位置を決めるウエハ位置決め装置において、ウエハを挟んで一方に設けた点光源と、ウエハの他方に設けウエハを回転させて前記ウエハ外周の情報を検出するラインイメージセンサと、前記ラインイメージセンサからのウエハ1周分の外周データを記憶するメモリと、ウエハからラインイメージセンサの距離を設定する設定器と、点光源からラインイメージセンサまでの距離を設定する設定器と、前記各設定器からの信号と前記メモリからの信号を入力して外周データの補正量を演算する補正演算回路と、前記補正演算回路からの信号を演算してウエハの中心位置を求める中心位置演算回路と、前記補正演算回路からの信号を演算してウエハのオリフラ位置を検出するオリフラ位置検出回路とを具えている。【効果】 照明を複雑な構成にして平行光とすることなく、簡単な点光源の構成で高精度なウエハ位置決めが出来る。

請求項（抜粋）：

ターンテーブル上のウエハ周縁部を照明し、ウエハ外周の情報からウエハの中心位置およびオリフラ位置を求めるウエハ位置決め装置において、ウエハを挟んで一方に設けた点光源と、ウエハの他方に設けウエハを回転させて前記ウエハ外周の情報を検出するラインイメージセンサと、前記ラインイメージセンサからのウエハ1周分の外周データを記憶するメモリと、ウエハからラインイメージセンサの距離を設定する設定器と、点光源からラインイメージセンサまでの距離を設定する設定器と、前記各設定器からの信号と前記メモリからの信号を入力して外周データの補正量を演算する補正演算回路と、前記補正演算回路からの信号を演算してウエハの中心位置を求める中心位置演算回路と、前記補正演算回路からの信号を演算してウエハのオリフラ位置を検出するオリフラ位置検出回路とを有することを特徴とするウエハ位置決め装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  G01B 11/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-057639
  
• 外径測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-357383   出願人：川崎製鉄株式会社