重金属モニタ用のウエーハとこのウエーハの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：畑泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-193507
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031227
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】大口径ウエーハの製造工程においても、精度良くウエーハ上の重金属汚染を測定可能にした重金属モニタ用のウエーハを提供する。【解決手段】ウエーハ上の重金属汚染量をモニタするために、ウエーハ1の厚みtをウエーハの口径に対して定められている標準規格の厚みTより薄く形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ウエーハ上の重金属汚染量をモニタするために、ウエーハの厚みをウエーハの口径に対して定められている標準規格の厚みより薄く形成したことを特徴とする重金属モニタ用のウエーハ。

Fターム (6件)：

4M106AA01 , 4M106AA07 , 4M106AB15 , 4M106AB17 , 4M106CB11 , 4M106CB21

引用特許：

審査官引用 (1件)

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