特許
J-GLOBAL ID：200903044396635758
実験結果を自動的に評価する方法
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-049828
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244162
出願日： 2000年02月25日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：
【要約】【課題】 製造プロセスに適合する、実験結果を自動的に処理方法を提供する。【解決手段】 製造プロセスは複数の制御要因を有し、実験は、少なくとも第一実験結果と第二実験結果とを取得するために、ある特定の制御要因が少なくとも二種類の状態を有するよう設定されるように行われる。各実験結果は複数の実験データを有し、複数の属性を代表する。その処理方法は、普通のコンピュータを用いて、特定の制御要因を変更することで影響されうる既知属性を有するノウハウ表を提供する段階と、第一実験結果の実験データと第二実験結果の実験データとの各属性における差異を比較させることによって評価表を生成し、第一実験結果と第二実験結果との実験データにおいて差異を有する属性を指示する段階と、評価表とノウハウ表との両方に存在する属性を標示するために符合表を生成する段階と、評価表に存在するがノウハウ表に存在しない属性を標示するために不符合表を生成する段階とを有する。
請求項（抜粋）：
製造プロセスに適合し、該製造プロセスは複数の制御要因を有し、少なくとも第一実験結果と第二実験結果とを取得するために、実験はある特定の制御要因を少なくとも二種類の状態に設定することによって行われ、各実験結果は複数の実験データを有し、複数の属性を代表する、実験結果を自動的に評価する方法であって、前記特定の制御要因を変更することによって影響されうる既知属性を有するノウハウ表を提供し、前記第一実験結果と前記第二実験結果との実験データの各属性における差異を比較することによって評価表を生成し、前記第一実験結果と前記第二実験結果との実験データにおいて差異を有する属性を指摘し、前記評価表に存在しているが前記ノウハウ表に存在していない属性を標示するために、不符合表(non-matching table)を生成する各段階を有することを特徴とする実験結果を自動的に評価する方法。
IPC (2件)：
H01L 21/02
, H01L 21/3065
H01L 21/02 Z
, H01L 21/302 A
