特許
J-GLOBAL ID：200903044417589948
半導体装置、表示装置用基板、該表示装置用基板を用いた液晶装置、投写型液晶表示装置、及び表示装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-294467
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133892
出願日： 1997年10月27日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 容量リークによる電気的不良を防止する。【解決手段】 基板上に、少なくとも、第一の導電膜7と、第二の導電膜12と、第一の導電膜7と第二の導電膜12との間に介在する第一の絶縁膜21とを有して容量を形成し、かつ、第二の導電膜12は第二の絶縁膜9により複数に分離されてなる半導体装置において、第一の絶縁膜21と第一の導電膜7との間、及び第二の絶縁膜9と第一の導電膜7との間に、共通の第三の絶縁膜21′を設けた、又は第二の絶縁膜9が、第一の導電膜7の直上に存在し、その接触部分の近傍において、第二の絶縁膜9がラウンド状テーパ形状になっている。
請求項（抜粋）：
基板上に、少なくとも、第一の導電膜と、第二の導電膜と、該第一の導電膜と該第二の導電膜との間に介在する第一の絶縁膜とを有して容量を形成し、かつ、該第二の導電膜は第二の絶縁膜により複数に分離されてなる半導体装置において、前記第一の絶縁膜と前記第一の導電膜との間、及び前記第二の絶縁膜と前記第一の導電膜との間に、共通の第三の絶縁膜を設けたことを特徴とする半導体装置。
IPC (5件)：
G09F 9/33
, G02F 1/1335
, G02F 1/136 500
, H01L 21/8238
, H01L 27/092
G09F 9/33 Z
, G02F 1/1335
, G02F 1/136 500
, H01L 27/08 321 M
