特許
J-GLOBAL ID：200903044431740799

透明膜の検査方法

発明者：
菅原 正行

菅原 正行 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 米田 潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-215325
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038753
出願日： 1996年07月26日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 透明膜の厚みムラ検査を高い信頼性で行うことができる検査方法を提供する。【解決手段】 単色光光源から透明膜に所定の入射角度で検査光を照射し、透明膜表面において反射された反射光R1 と、透明膜を透過した後に透明膜の裏面側界面(透明膜と接触している支持体面)で反射された反射光R2 と、の光路差による位相のズレから生じる干渉光を、光検出器で受光し、その信号を画像信号として処理し、その強度分布から所定量以上の光強度変化が生じている透明膜の領域を検出することによって厚みムラのある箇所を検出する。
請求項（抜粋）：
透明膜に単色光光源から所定の入射角度で検査光としての単色光を照射し、透明膜表面において反射された反射光R1 および透明膜の裏面側界面で反射された反射光R2 の干渉光を光検出器で検出し、所定量以上の光強度変化を生じさせた透明膜の領域を検出することを特徴とする透明膜の検査方法。
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM