欠陥検査装置および方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：梶原辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-337002
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162141
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】異物とスクラッチを自動的に弁別する。【解決手段】欠陥検査装置10はウエハ1の被検査面2に垂直光21を照射する垂直光照射装置20と、被検査面に斜方光28を照射する斜方光照射装置24と、被検査面2で乱反射した散乱光のうち高角度光31を受光する高角度光受光装置30と、中角度光41を受光する中角度光受光装置40と、低角度光51を受光する低角度光受光装置50とを備えている。垂直光21が被検査面に走査されて照射された時の散乱光のうち高角度光31、中角度光41は高角度光受光装置30、中角度光受光装置40で採取され、斜方光28が被検査面2に走査されて照射された時の低角度光51は低角度光受光装置50で採取される。高角度光、中角度光から低角度光が除外されると、スクラッチが異物から弁別される。【効果】自動弁別により、欠陥検査の作業性、品質、信頼性を向上できる。

請求項（抜粋）：

被検査面を露出させた状態で被検査物を保持するステージ装置と、前記被検査面に検査光を実質的に垂直に照射する垂直光照射装置と、前記被検査面に検査光を斜めに照射する斜方光照射装置と、前記被検査面で乱反射した散乱光のうち高角度の散乱光を受光するための高角度光受光装置と、前記被検査面で乱反射した散乱光のうち中角度の散乱光を受光するための中角度光受光装置と、前記被検査面で乱反射した散乱光のうち低角度の散乱光を受光するための低角度光受光装置とを備えており、前記ステージ装置と前記垂直光照射装置、前記斜方光照射装置、前記高角度光受光装置、前記中角度光受光装置および前記低角度光受光装置とが相対的に走査するように構成されていることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , H01L 21/306 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/88 645 A , H01L 21/66 J , H01L 21/306 M

Fターム (39件)：

2G051AA51 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AC04 , 2G051AC21 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051BA11 , 2G051BB01 , 2G051BB07 , 2G051CA02 , 2G051CA07 , 2G051CB05 , 2G051DA07 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051EC01 , 4M106AA01 , 4M106AA11 , 4M106AA12 , 4M106BA04 , 4M106BA05 , 4M106CA38 , 4M106CA41 , 4M106DB02 , 4M106DB08 , 4M106DB19 , 4M106DB20 , 4M106DJ04 , 4M106DJ06 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20 , 5F043AA22 , 5F043AA29 , 5F043DD16 , 5F043GG10

引用特許：

審査官引用 (4件)

ウエハ表面検査方法および検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-112073 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
特開昭63-143831
異物検出方法、および異物検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-223858 出願人：株式会社アドバンテスト

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