特許
J-GLOBAL ID：200903044456296745

試料に含まれる物質の同定方法および分布測定方法

発明者：
大堀 謙一

大堀 謙一 について

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坂東 篤

坂東 篤 について

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万木 利和

万木 利和 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-248845
公開番号（公開出願番号）：特開平8-086762
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 スペクトルの解析や元素同定を個々に行うことなく、試料の構成物質を直接的に同定し、分布測定することができる新規で有用な試料に含まれる物質の同定方法および分布測定方法を提供する。【構成】 電子線4の走査を行い、2元素以上のX線の画像を取り込む。これらの画像から作成される散布図上に、材質が既知の試料を用いて計測されたX線強度から散布図上の座標を求めプロットする。散布図上のデータとプロットとを対比することにより、試料に含まれる物質の同定およびその分布を得る。
請求項（抜粋）：
試料に対して電子線またはX線を走査しながら照射したときに生ずる特性X線の強度を元素ごとにメモリ内に記録し、これに基づいて元素ごとの特性X線画像を作成し、次いで、演算装置によって、前記特性X線画像に適宜の係数を乗じて二以上の演算画像を形成し、これらの演算画像における相関を示す散布図を演算装置によって作成してこれを表示画面に表示するとともに、予め登録されている材質が既知のX線スペクトルに基づいて前記散布図上に対応する座標を計算してその座標を散布図に重ねてプロットし、散布図上のデータと前記プロットとを対比し、これらが一致した場合、その材質が前記試料に含まれると判定することを特徴とする試料に含まれる物質の同定方法。
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (7件)
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