特許
J-GLOBAL ID:200903044468047880

光走査プローブ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 進
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-056887
公開番号(公開出願番号):特開2004-223269
出願日: 2004年03月01日
公開日(公表日): 2004年08月12日
要約:
【課題】先端光学系における先の反射によるゴーストの発生を抑え、S/N比の向上を図することができる光走査プローブ装置を提供する。【解決手段】被検体に照射する観察光を導光して観察光を被検体側に照射するとともに被検体の反射光を導光する第1の導光手段と、第1の導光手段に対し少なくとも被検体側の外周に設けられ、観察光を透過する光透過部材と、第1の導光手段で導光される観察光を光透過部材に対して非垂直な所定の角度で出射するとともに被検体の反射光を第1の導光手段に導く第2の導光手段と、反射光と観察光とを干渉させ、所定の干渉信号を得る干渉信号取得手段とを備える。【選択図】図6
請求項(抜粋):
被検体に照射するための所定の観察光を発生する観察光発生手段と、 前記観察光発生手段により発生した観察光を導光して前記観察光を前記被検体側に照射するとともに、前記被検体で反射された反射光を導光する第1の導光手段と、 前記第1の導光手段に対し少なくとも被検体側の外周に設けられ、前記観察光を透過する光透過部材と、 前記第1の導光手段で導光される前記観察光を、前記光透過部材に対して非垂直な所定の角度で出射するとともに、前記被検体で反射された前記反射光を前記第1の導光手段に導く第2の導光手段と、 前記反射光と前記観察光とを干渉させ、所定の干渉信号を得る干渉信号取得手段と、 を備えたことを特徴とする光走査プローブ装置。
IPC (3件):
A61B1/00 ,  G01N21/17 ,  G02B26/10
FI (5件):
A61B1/00 300D ,  A61B1/00 334D ,  G01N21/17 620 ,  G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 109Z
Fターム (25件):
2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059FF01 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059NN01 ,  2G059PP04 ,  2H045AB01 ,  2H045AB81 ,  4C061DD03 ,  4C061FF46 ,  4C061FF47 ,  4C061GG15 ,  4C061HH54 ,  4C061JJ17
引用特許:
審査官引用 (5件)
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