特許
J-GLOBAL ID：200903044476552950
高純度オゾンガス発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-020448
公開番号（公開出願番号）：特開2000-219986
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：
【要約】【課題】硝酸を含有しない高純度のオゾン水の調製を可能とする高純度のオゾンガスを発生することができる高純度オゾンガス発生装置を提供する。【解決手段】超純水中の溶存窒素ガスを除去する溶存窒素ガス除去装置及び溶存窒素ガス除去装置から排出される超純水を電気分解してオゾンガスを発生させる電気分解装置を有することを特徴とする高純度オゾンガス発生装置。
請求項（抜粋）：
超純水中の溶存窒素ガスを除去する溶存窒素ガス除去装置及び溶存窒素ガス除去装置から排出される超純水を電気分解してオゾンガスを発生させる電気分解装置を有することを特徴とする高純度オゾンガス発生装置。
Fターム (9件)：
4K021AA01
, 4K021AA09
, 4K021AB15
, 4K021BA02
, 4K021BB05
, 4K021BC01
, 4K021CA08
, 4K021DB31
, 4K021DC07
