特許
J-GLOBAL ID：200903044514273297

荷電粒子線装置

発明者：
佐藤 貢

佐藤 貢 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-298774
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133183
出願日： 1998年10月20日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：
【要約】【課題】 ブランキング電源のノイズの影響を小さくして、高い像分解能を維持したブランキング装置を実現する。【解決手段】 ブランキング電極41〜43を光軸に沿って複数個配置し、少なくとも2つの電極に印加されるブランキング電圧が逆極性になるようにブランキング電源45とブランキング電極とを接続して、ブランキング時の一次電子線の偏向支点53が一次電子線のクロスオーバ位置の付近になるようにする。一次電子線のクロスオーバ位置や加速電圧の範囲が広いときには、接続するブランキング電極の組み合わせを変えて、ブランキング時の偏向支点をクロスオーバ位置の設定条件に合わせて変更する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線源から放出される荷電粒子線を試料上に収束する対物レンズと、前記対物レンズよりも前記荷電粒子線源側に設けられた複数の静電偏向電極と、前記複数の静電偏向電極に電圧を印加する偏向電源と、前記静電偏向電極によって偏向された荷電粒子線を遮断する絞り板とを具備し、前記偏向電源から少なくとも2つの前記静電偏向電極に互いに逆極性の電圧を印加することを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (2件)：
H01J 37/147 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
H01J 37/147 B ,  H01J 37/147 C ,  H01J 37/147 D ,  H01L 21/30 541 B
Fターム (11件)：
5C033BB03 ,  5C033FF03 ,  5C033FF09 ,  5C033GG02 ,  5C033GG03 ,  5F056AA01 ,  5F056BA08 ,  5F056BC06 ,  5F056CB05 ,  5F056CB11 ,  5F056EA03
引用特許：
審査官引用 (14件)
  • 特開平3-252034
  • 特開平3-252034
  • 荷電粒子線装置のビームブランキング装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-044572   出願人：日本電子株式会社
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