特許
J-GLOBAL ID：200903044517697446
エキシマレーザ装置の制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-191056
公開番号（公開出願番号）：特開平6-037376
出願日： 1992年07月17日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】【目的】エキシマレーザにおけるスパイキング現象の影響を除去する。【構成】パルス発振の休止時間が計時され、つぎの連続パルスの各パルスのエネルギーが同一の大きさとなるように、計時された休止時間に基づいて各パルスに対応する放電電圧の大きさが変化される。
請求項（抜粋）：
レーザ光を所定回数連続してパルス発振させた後、所定時間パルス発振を休止させる運転を繰り返し行い、前記パルスのエネルギーが所定の大きさとなるように放電電圧を制御するエキシマレーザ装置の制御装置において、前記パルス発振の休止時間を計時し、つぎの連続パルスの各パルスのエネルギーが同一の大きさとなるように、前記計時された休止時間に基づいて各パルスに対応する放電電圧の大きさを変化させるようにしたエキシマレーザ装置の制御装置。
引用特許：
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