特許
J-GLOBAL ID：200903044521475768
カーボンソースガス分解用触媒金属膜を用いたカーボンナノチューブの低温合成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-178515
公開番号（公開出願番号）：特開2001-020072
出願日： 2000年06月14日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：
【要約】【課題】 触媒金属膜を用いたカーボンナノチューブの低温合成法を提供する。【解決手段】 基板上に触媒金属膜を形成した後、触媒金属膜を蝕刻して分離されたナノサイズの触媒金属粒子を形成する。次いで、カーボンソースガス分解用触媒金属膜を用いて基板の変形温度より低温でカーボンソースガスを熱分解する熱化学気相蒸着法で分離されたナノサイズの触媒金属粒子毎にカーボンナノチューブを成長させて基板上に垂直に整列された複数個のカーボンナノチューブを形成する。
請求項（抜粋）：
基板上に触媒金属膜を形成する段階と、前記触媒金属膜を蝕刻して分離されたナノサイズの触媒金属粒子を形成する段階と、カーボンソースガス分解用触媒金属膜を用いて前記基板の変形温度より低温で前記カーボンソースガスを熱分解する熱化学気相蒸着法で前記分離されたナノサイズの触媒金属粒子毎にカーボンナノチューブを成長させて基板上に垂直に整列された複数個のカーボンナノチューブを形成する段階と、を含むことを特徴とするカーボンナノチューブの合成方法。
IPC (3件)：
C23C 16/26
, B82B 3/00
, C01B 31/02 101
C23C 16/26
, B82B 3/00
, C01B 31/02 101 F
