特許
J-GLOBAL ID：200903044545622630
ICテスタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-309196
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131397
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：
【要約】【課題】 DUTユニット交換の度に伝搬遅延時間データを測定し直す必要がなく、また、マニュアルで試験プログラムをロードする必要がなく、テスト時間を短縮することができるICテスタを提供すること。【解決手段】 被測定デバイス1を装着するためのDUTユニット2と、該DUTユニット2を装着して被測定デバイス1にICテスタ本体12Aからの試験信号13を供給するためのベースユニット3とからなるテストボード6Aを有するICテスタにおいて、ボードID認識回路7Aは、DUTユニット2およびベースユニット3の種類を識別する。CPU8Aは、ボードID認識回路7Aによる識別結果に基づきテストボード6Aにおける信号伝搬遅延時間を演算する。制御回路10および試験回路11は、CPU8Aでの演算結果を反映させて試験信号13を生成し、これをテストボード6Aを介して被測定デバイス1に与える。
請求項（抜粋）：
被測定デバイスを装着するためのDUTユニットと、該DUTユニットを装着して前記被測定デバイスに本体側からの試験用の信号群を供給するためのベースユニットとからなるテストボードを有するICテスタにおいて、前記DUTユニットの種類および前記ベースユニットの種類を識別するための識別手段と、前記識別手段による識別結果に基づき前記テストボードにおける信号伝搬時間を演算する演算手段と、前記演算手段の演算結果を反映させて前記試験用の信号群を生成する信号生成手段と、を備えたことを特徴とするICテスタ。
IPC (3件)：
G01R 31/28
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 31/28 P
, G01R 31/26 G
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 D
, G01R 31/28 X
2G003AA07
, 2G003AB09
, 2G003AF02
, 2G003AH00
, 2G003AH01
, 2G003AH05
, 2G032AA00
, 2G032AD06
, 2G032AE12
, 4M106AA04
, 4M106BA14
, 4M106DG23
, 4M106DJ15
, 4M106DJ20
, 4M106DJ39
