特許
J-GLOBAL ID：200903044566436291
焦点検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-112388
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296469
出願日： 2000年04月13日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：
【要約】【課題】 段差などのエッジ部での散乱の影響を受けにくい焦点検出装置を提供することを目的とする。また、複数の高さの異なる凹凸形状に対して平均的な高さに合焦できるだけでなく、特定の高さにも合焦できる焦点検出装置を提供することを目的とする。【解決手段】 光源4、コリメートレンズ5、遮光板7、偏光ビームスプリッタ8、結像レンズ13、光検出器14で構成された焦点検出装置において、光源4と偏光ビームスプリッタ8の間に回折格子6を配置して複数の光束を発生させ、マルチスポットで標本を照射するようにした。また、この回折格子6を光路から挿脱させ、マルチスポットとシングルスポットのいずれかで標本を照射できるようにした。
請求項（抜粋）：
複数の光束を射出する多光束発生部材と、前記複数の光束のそれぞれについて光束の一部を遮光する遮光部材と、入射した光束を反射あるいは透過させる面を有する光分割部材と、入射した光束を集光する集光光学系と、少なくとも2つの受光部を備える光検出器とを備え、前記多光束発生部材及び前記遮光部材は第1の光路に配置され、前記集光光学系及び前記光検出器は第2の光路に配置され、前記光分割素子は前記第1の光路の光軸と前記第2の光軸が交わる位置にされ、前記光検出器は前記集光光学系の集光位置に配置されている焦点検出装置。
IPC (3件)：
G02B 7/28
, G02B 5/18
, G02B 21/26
G02B 5/18
, G02B 21/26
, G02B 7/11 J
2H049AA03
, 2H049AA13
, 2H049AA55
, 2H051AA11
, 2H051BB22
, 2H051CB05
, 2H051CB14
, 2H051CC03
, 2H051CC07
, 2H052AD09
, 2H052AD19
, 2H052AF02
