特許

J-GLOBAL ID：200903044575693833

非接触チャック

発明者： 吉本 成香
出願人/特許権者： 学校法人東京理科大学
代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-253138
公開番号（公開出願番号）：特開2006-073654
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】 ワークを水平方向に保持するためにチャックの外周部に設けられる止め用具の適用を廃止できる非接触チャックを得る。【解決手段】 非接触チャック10では、ワークは、真空ポンプ24の吸引力によってチャック本体12のワーク保持面18に吸引される。このチャック本体12は、超音波振動子26が発生する超音波によって超音波振動するので、ワーク保持面18には、所謂「超音波スクイーズ効果」によってワーク支持力(所謂「スクイーズ空気膜圧力」)が発生する。ここで、この非接触チャック10では、上記ワーク支持力とワークの重量との和と、真空ポンプ24によるワークの吸引力とがバランスするようになっている。これにより、ワークは、ワーク保持面18に対して非接触状態で保持される。しかも、ワークは、「超音波スクイーズ効果」による保持力によって、ワーク保持面18に対して水平方向にも保持される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ワークを保持するワーク保持面が先端に形成されると共に、一端が前記ワーク保持面に開口した吸引通路が穿設されたチャック本体と、 超音波を発生させて前記チャック本体を超音波振動させる超音波発生手段と、 前記ワークの重量と超音波振動によって前記チャック本体に発生するワーク支持力との和と吸引力とがバランスするように前記吸引通路を介して吸引する吸引手段と、 を含む非接触チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/07

FI (2件)：

H01L21/68 C ,  B65G49/07 H

Fターム (7件)：

5F031CA02 ,  5F031CA13 ,  5F031FA01 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031GA28 ,  5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ワーク落下防止チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-092594   出願人：株式会社日立製作所, 日立設備エンジニアリング株式会社, 株式会社日立コンピュータエレクトロニクス