特許

J-GLOBAL ID：200903044578024320

水晶振動子及びその製造方法並びに物理量センサー

発明者： 滝沢 真紀
出願人/特許権者： シチズン時計株式会社
代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-285455
公開番号（公開出願番号）：特開2007-093485
出願日： 2005年09月29日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

【課題】離調度調整においてエッチングによるCI値の上昇を抑制する。【解決手段】水晶振動子を構成する水晶振動片の製造において、パッケージに実装された水晶振動片をこのパッケージと共にエッチング液に浸漬し、パッケージに実装された状態において、水晶振動片を駆動する駆動脚及び水晶振動子の振動を検出する検出脚の両脚の面を同時にウエットエッチングするエッチング工程を含み、エッチング工程において駆動脚の面のエッチングによる除去量を抑制する。駆動脚の平面電極の幅の設定、駆動脚の平面電極の配置位置、駆動脚と検出脚における電極で覆われない部分の幅等を設定することで、エッチングによるCI値の上昇を抑制する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

水晶振動子を構成する水晶振動片の製造において、 パッケージに実装された水晶振動片をこのパッケージと共にエッチング液に浸漬し、パッケージに実装された状態において、水晶振動片を駆動する駆動脚及び水晶振動子の振動を検出する検出脚の両脚の面を同時にウエットエッチングするエッチング工程を含み、 このエッチング工程において、駆動脚の面のエッチングによる除去量を抑制することを特徴とする水晶振動子の製造方法。

IPC (7件)：

G01C 19/56 ,  H03H 3/02 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (8件)：

G01C19/56 ,  H03H3/02 B ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z ,  H03H3/02 D

Fターム (10件)：

2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB20 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13 ,  5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 音叉型角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-146687   出願人：日本電波工業株式会社
• 共振デバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-240134   出願人：松下電器産業株式会社