特許
J-GLOBAL ID：200903044650264781

冷陰極およびこれを用いた電子銃とマイクロ波管

発明者：
巻島 秀男

巻島 秀男 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-060887
公開番号（公開出願番号）：特開平8-255558
出願日： 1995年03月20日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】球面状の電子放出面を持つ冷陰極を実現し、電流密度が高く、リップルが小さい電子ビームを形成し、寿命の長い電子銃、ならびに高性能なマイクロ波管を実現する。【構成】球面状の基板1の上に、仕事関数の小さい材料で構成した電子放出領域あるいは、球面2の曲率半径中心あるいはその付近を通る集束イオンビーム(FIB)加工・形成した微小冷陰極を備えた電子放出領域を形成して冷陰極6を構成する。この冷陰極と、陰極電位のビーム形成電極21あるいは陰極電位を基準として正または負電位のビーム形成電極と、陽極22とで電子銃を構成し、この電子銃を用いてマイクロ波管をも構成する。
請求項（抜粋）：
球面上の曲面(32)を表面に有する基板(31)と、前記曲面(32)上に積層された薄膜上の電子放出層(33)とを有することを特徴とする冷陰極。
IPC (3件)：
H01J 1/30 ,  H01J 23/04 ,  H01J 23/06
FI (4件)：
H01J 1/30 C ,  H01J 1/30 Z ,  H01J 23/04 ,  H01J 23/06
引用特許：
審査官引用 (4件)
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