特許
J-GLOBAL ID:200903044650264781

冷陰極およびこれを用いた電子銃とマイクロ波管

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 京本 直樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-060887
公開番号(公開出願番号):特開平8-255558
出願日: 1995年03月20日
公開日(公表日): 1996年10月01日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】球面状の電子放出面を持つ冷陰極を実現し、電流密度が高く、リップルが小さい電子ビームを形成し、寿命の長い電子銃、ならびに高性能なマイクロ波管を実現する。【構成】球面状の基板1の上に、仕事関数の小さい材料で構成した電子放出領域あるいは、球面2の曲率半径中心あるいはその付近を通る集束イオンビーム(FIB)加工・形成した微小冷陰極を備えた電子放出領域を形成して冷陰極6を構成する。この冷陰極と、陰極電位のビーム形成電極21あるいは陰極電位を基準として正または負電位のビーム形成電極と、陽極22とで電子銃を構成し、この電子銃を用いてマイクロ波管をも構成する。
請求項(抜粋):
球面上の曲面(32)を表面に有する基板(31)と、前記曲面(32)上に積層された薄膜上の電子放出層(33)とを有することを特徴とする冷陰極。
IPC (3件):
H01J 1/30 ,  H01J 23/04 ,  H01J 23/06
FI (4件):
H01J 1/30 C ,  H01J 1/30 Z ,  H01J 23/04 ,  H01J 23/06
引用特許:
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る