特許

J-GLOBAL ID：200903044735286946

ペリクル収納容器

発明者： 野崎 聡
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058047
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258897
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 収納されたペリクルの水平方向の動きを固定する位置決め部の位置等を考慮せずにペリクル取り出し用治具を設計・製造でき、かつその治具を用いてペリクルを取り出す場合でも、位置決め部との接触に対して注意する必要のないペリクル収納容器を提供することを目的とするものである。【解決手段】 収納されるペリクルのペリクル枠の下端面が接するようにペリクル枠が載置される載置台を有する容器本体と、前記載置台に載置されたペリクル枠の上端面に接することにより前記載置台との間でペリクル枠を挟持する固定部を有する蓋体とからなるペリクル収納容器において、前記載置台に載置されたペリクル枠の内側からペリクルを固定するように前記載置台の内側に凸部を有するペリクル収納容器である。

請求項（抜粋）：

収納されるペリクルのペリクル枠の下端面が接するようにペリクル枠が載置される載置台を有する容器本体と、前記載置台に載置されたペリクル枠の上端面に接することにより前記載置台との間でペリクル枠を挟持する固定部を有する蓋体とからなるペリクル収納容器において、前記載置台に載置されたペリクル枠の内側からペリクルを固定するように前記載置台の内側に凸部を有することを特徴とするペリクル収納容器。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

G03F 1/14 J ,  B65D 85/38 L

Fターム (12件)：

2H095BE00 ,  3E096AA01 ,  3E096BA08 ,  3E096DA02 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DA30 ,  3E096EA02X ,  3E096EA06X ,  3E096FA03 ,  3E096FA09 ,  3E096GA03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ペリクル収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-309926   出願人：信越ポリマー株式会社
• 特開平4-019665
  
• マスク保護装置の収納ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-202407   出願人：三井石油化学工業株式会社
• ペリクル収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-291668   出願人：信越化学工業株式会社