特許
J-GLOBAL ID:200903044783824356

流速計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松井 伸一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-120127
公開番号(公開出願番号):特開平10-300546
出願日: 1997年04月24日
公開日(公表日): 1998年11月13日
要約:
【要約】【課題】 フローセンサの検知部分となる電熱器近傍での流速を、真の流速と同じにし、高精度な測定を可能とする流速計を図ること【解決手段】 フローセンサ10のベース部材12への設置位置を従来と相違し、ベース部材の厚さをtとし、ベース部材の流体の流れ方向の上流側の端面12aからフローセンサ10の電熱器までの距離をdとした場合に、d≧5tになるような位置に、フローセンサを取り付けるようにした。係る構成にすると、ベース部材の端面側近傍では流体の流れが乱れて流速も減少するが、フローセンサの近傍では流速aが真の流速にほぼ等しくなる。
請求項(抜粋):
電熱器と温度によって抵抗値が変化する抵抗器とを半導体基板上に有し、前記電熱器および抵抗器はそれらの近傍の流体と熱的に結合され、前記電熱器が発熱しているときの前記抵抗器の抵抗変化に基づいて前記流体の速度を検知するフローセンサと、前記流体を流す構造物に前記フローセンサを取り付けるベース部材とを備えた流速計であって、前記ベース部材の前記流体の流れ方向の上流側の端面から前記フローセンサの前記電熱器までの距離が、前記ベース部材の厚さ寸法の5倍以上としたことを特徴とする流速計。
IPC (2件):
G01F 1/68 ,  G01P 5/12
FI (2件):
G01F 1/68 ,  G01P 5/12 C
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 熱式流量センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-112294   出願人:株式会社リコー
  • 液体用流量計
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-070655   出願人:三井金属鉱業株式会社

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