特許
J-GLOBAL ID：200903044794861504
過酸化水素水の精製方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-167266
公開番号（公開出願番号）：特開平9-020505
出願日： 1995年07月03日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【課題】 不純物である金属イオンの濃度が極めて低く、よって半導体の製造プロセスに最適に使用し得る高純度の過酸化水素水を得ることができる過酸化水素水の精製方法を提供する。【解決手段】 過酸化水素水をアニオン交換樹脂との接触処理に付すことにより高純度の過酸化水素水を得る過酸化水素水の精製方法であって、各金属イオンの各含有量が5重量ppb以下の重炭酸塩水溶液又は炭酸塩水溶液と接触させることにより前処理したアニオン交換樹脂を用いる過酸化水素水の精製方法。
請求項（抜粋）：
過酸化水素水をアニオン交換樹脂との接触処理に付すことにより高純度の過酸化水素水を得る過酸化水素水の精製方法であって、各金属イオンの各含有量が5重量ppb以下の重炭酸塩水溶液又は炭酸塩水溶液と接触させることにより前処理したアニオン交換樹脂を用いる過酸化水素水の精製方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 15/013
, C02F 1/42 B
