特許
J-GLOBAL ID：200903044820076691
被加工物の保持方法及び被加工物保持ユニット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-141437
公開番号（公開出願番号）：特開2000-332086
出願日： 1999年05月21日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 CSP基板等の被加工物に加工を施すにあたって、テープを介してフレームに被加工物を保持させる場合において、テープの無駄を少なくして廃棄される量を減少させることにより、経済性を高めると共に、環境汚染を少なくする。【解決手段】 被加工物10の裏面全体を貼着するために最低限必要とされる幅と長さとを有するテープ15の長手方向の両端をフレーム11のテープ支持部13に貼着し、収容開口部14において被加工物10をテープ15に貼着することにより、被加工物10をフレーム13に保持させる被加工物の保持方法を提供する。
請求項（抜粋）：
矩形の被加工物に所定の加工を施すにあたって、テープを介して該被加工物をフレームに保持させる被加工物の保持方法であって、該フレームは、被加工物を収容する収容開口部と、テープを支持するテープ支持部とから構成され、該テープは、該被加工物の裏面全体を貼着すると共に該フレームの該テープ支持部に貼着するために最低限必要とされる幅と長さとを有し、該テープに該被加工物を貼着すると共に、該貼着の前若しくは後または該貼着と同時に該テープの長手方向の両端を該テープ支持部に貼着する被加工物の保持方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 N
, H01L 21/78 M
5F031CA02
, 5F031DA13
, 5F031FA01
, 5F031FA12
, 5F031HA78
, 5F031MA34
, 5F031MA37
, 5F031MA38
