エキシマレーザ、その光学部品の固定手段及びその固定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：橋爪良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-046235
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233858
出願日： 1998年02月10日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】エキシマレーザの波長特性を劣化させずに、光学部品を固定できる固定手段及び固定方法を提供する。【解決手段】エキシマレーザ4の光学部品の押さえ面23に接触する押さえ板18と、この押さえ板18を所定の押さえ方向へ押さえる押さえ手段27とを備えた光学部品の固定手段において、押さえ板18と光学部品とが接触する接触面を前記押さえ方向へ延長した屈折率が不均一な領域13が、レーザ光3が前記光学部品を透過する透過領域28から所定距離離れた位置に形成されるようにに光学部品を固定する。

請求項（抜粋）：

光学部品を固定する固定手段を備えたエキシマレーザ(4) において、前記固定手段が光学部品の、波面を決定する要因である波面要因を均一に保つように固定したことを特徴とするエキシマレーザ(4) 。

IPC (3件)：

H01S 3/08 , G02B 7/00 , H01S 3/225

FI (3件)：

H01S 3/08 Z , G02B 7/00 F , H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平1-231017
特開平2-092484
特開平4-134407

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