特許
J-GLOBAL ID:200903044879629368
金属薄膜、金属薄膜の形成方法、及びその金属薄膜を用いた固体酸化物形燃料電池、水素ポンプ、メンブレンリアクター、水素精製装置及び固体酸化物形水蒸気電解装置。
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
牛木 護
, 吉田 正義
, 松浦 康次
, 今枝 弘充
, 梅村 裕明
, 清水 栄松
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-086069
公開番号(公開出願番号):特開2008-243744
出願日: 2007年03月28日
公開日(公表日): 2008年10月09日
要約:
【課題】400°C〜600°Cの作動温度においても、原子の透過性を向上させることができる金属薄膜を提供する。【解決手段】金属組成物と、前記金属組成物の結晶粒界に分散させた酸化物とを含有する。前記金属組成物を構成する金属ターゲットと、前記酸化物を構成する酸化物ターゲットとを同時にスパッタリングして形成した。前記酸化物が、ジルコニア、ランタンガレート、セリアのうちいずれか一つの元素で構成した。前記金属組成物が、銅、銀、白金、パラジウム及び金のうちいずれか一種、又は二種以上を主体とした合金で構成した。【選択図】図7
請求項(抜粋):
金属組成物と、前記金属組成物の結晶粒界に分散させた酸化物とを含有することを特徴とする金属薄膜。
IPC (6件):
H01M 4/86
, H01M 4/88
, H01M 8/12
, C23C 14/14
, B01D 71/02
, B01J 19/00
FI (7件):
H01M4/86 T
, H01M4/88 T
, H01M8/12
, C23C14/14 Z
, C23C14/14 D
, B01D71/02 500
, B01J19/00 L
Fターム (51件):
4D006GA16
, 4D006GA41
, 4D006HA41
, 4D006KA22
, 4D006MA03
, 4D006MB04
, 4D006MB17
, 4D006MC02X
, 4D006MC03X
, 4D006NA31
, 4D006NA32
, 4D006NA45
, 4D006NA62
, 4D006PB62
, 4D006PB66
, 4D006PC69
, 4D006PC80
, 4G075AA24
, 4G075BC02
, 4G075CA02
, 4G075FB01
, 4G075FB02
, 4K029AA04
, 4K029AA24
, 4K029BA02
, 4K029BA04
, 4K029BA05
, 4K029BA08
, 4K029BA13
, 4K029BA22
, 4K029BA43
, 4K029BA64
, 4K029BD00
, 4K029CA05
, 4K029DC03
, 4K029DC05
, 4K029DC16
, 4K029DC35
, 4K029DC39
, 5H018AA06
, 5H018BB01
, 5H018BB07
, 5H018BB12
, 5H018EE02
, 5H018EE12
, 5H026AA06
, 5H026BB01
, 5H026BB04
, 5H026BB08
, 5H026EE02
, 5H026EE12
引用特許:
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