特許
J-GLOBAL ID:200903044890152948

較正中にレーザ・トリミングするために透明プレートに取り付けられた構成部品を備えた磁気センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-276932
公開番号(公開出願番号):特開平10-142303
出願日: 1997年10月09日
公開日(公表日): 1998年05月29日
要約:
【要約】【課題】 センサの磁気感受性構成部品内で応力を引き起こす可能性がある製造段階が完了した後で較正を実施することができるようにする。【解決手段】 磁気センサは、永久磁石構造、磁気感受性構成部品、および磁気感受性構成部品をレーザ・ビームで選択的にトリミングすることができる透明プレートを備える。磁気感受性構成部品は、エポキシまたはその他の適当な材料で、永久磁石構造にしっかりと取り付ける。これにより、磁気感受性構成部品は、透明プレートと永久磁石構造の間に配置される。磁気感受性構成部品は、透明プレートを通してレーザで集積チップ上の抵抗器をトリミングすることによって、較正することができる。
請求項(抜粋):
永久磁石構造と、第1表面および第2表面を備えた磁気感受性構成部品と、前記磁気感受性構成部品の前記第1表面が取り付けられ、前記磁気感受性構成部品が前記永久磁石とプレートとの間に配置される、前もって選択したタイプの放射線に対して透明なプレートと、前記磁気感受性構成部品の前記第1表面にある前もって選択した複数の部分との間に電気連絡で接続された、前記プレートの表面上に配置された複数の導電エレメントとを含む磁気センサ。
IPC (3件):
G01R 33/09 ,  H01L 43/08 ,  H01C 17/22
FI (3件):
G01R 33/06 R ,  H01L 43/08 Z ,  H01C 17/22 Y
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 地磁気検出装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-248046   出願人:トヨタ自動車株式会社, 萩原電気株式会社
  • 風速センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-088032   出願人:株式会社村田製作所

前のページに戻る