特許

J-GLOBAL ID：200903044918224354

酸拡散制御剤およびそれを用いた感放射性樹脂組成物

発明者： 永井 智樹 ,  横山 健一 ,  宮路 正昭
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (2件)： 小島 清路 ,  谷口 直也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-361047
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191764
出願日： 2002年12月12日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】化学増幅型レジストとして解像度及び保存安定性に優れるポジ型及びネガ型感放射性組成物を提供する。【解決手段】本ポジ型組成物は、式(1)のイミダゾール化合物(A)、感放射線性酸発生剤(B)、並びに(C)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂であって該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂又は(ロ)アルカリ可溶性樹脂及びアルカリ溶解性制御剤を含有する。本ネガ型組成物は上記(A)及び(B)にアルカリ可溶性樹脂(D)及び酸の存在下でアルカリ可溶性樹脂を架橋しうる化合物(E)を含有する。【化1】【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表されるイミダゾール誘導体からなることを特徴とする酸拡散制御剤。

IPC (4件)：

G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (14件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB41 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 感放射線性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-280035   出願人：ジェイエスアール株式会社
• ポジ型レジスト材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-218700   出願人：日本電信電話株式会社