特許
J-GLOBAL ID:200903044919863660
光学部材検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松岡 修平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-128081
公開番号(公開出願番号):特開2005-308623
出願日: 2004年04月23日
公開日(公表日): 2005年11月04日
要約:
【課題】 光学部材をはじめとする部品等の形状を高い精度をもって抽出することができ、さらにはばらつきのない良否判定結果を取得することができる光学部材検査装置を提供すること。【解決手段】 光学部材検査装置は、前工程から搬送された被検物を所定の保持面に当接させつつ保持する保持手段と、光源と、対物光学系と、対物光学系を介して被検物と略共役な関係になる位置に配設された撮像部と、が該対物光学系の光軸に沿って配設されており、該光源からの光によって照明された被検物を、該被検物を挟んで前記保持手段の反対側から撮像する撮像手段と、撮像手段により撮像された画像から被検物の形状を抽出する形状抽出手段と、を有し、保持手段は、保持面が該被検物における少なくとも形状の抽出にかかる部位近傍に位置しない状態で被検物を保持する構成にした。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
前工程から搬送された被検物を所定の保持面に当接させつつ保持する保持手段と、
光源と、対物光学系と、前記対物光学系を介して前記被検物と略共役な関係になる位置に配設された撮像部と、が該対物光学系の光軸に沿って配設されており、該光源からの光によって照明された被検物を、該被検物を挟んで前記保持手段の反対側から撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像から前記被検物の形状を抽出する形状抽出手段と、を有し、
前記保持手段は、前記保持面が該被検物における少なくとも形状の抽出にかかる部位近傍に位置しない状態で前記被検物を保持することを特徴とする光学部材検査装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01M11/00 L
, G01B11/24 K
Fターム (24件):
2F065AA51
, 2F065BB05
, 2F065BB22
, 2F065CC22
, 2F065DD03
, 2F065FF04
, 2F065FF41
, 2F065GG07
, 2F065GG17
, 2F065HH12
, 2F065JJ02
, 2F065JJ09
, 2F065JJ25
, 2F065LL03
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ03
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
, 2F065TT02
, 2F065TT03
, 2F065UU04
, 2G086FF01
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (4件)
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特開平4-305144
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光学部材検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-331262
出願人:ペンタックス株式会社
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レンズ加工システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-190735
出願人:株式会社ニデック
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