光学部材検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松岡修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-331262
公開番号（公開出願番号）：特開2003-130756
出願日： 2001年10月29日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】レンズ等の光学部材の品質を検査するための画像検査装置における光学部材検査方法において、撮影した画像に周期的な濃淡模様が現れるような被検物に対しても不良要因の評価をより厳密に行うことが可能な光学部材検査方法を提供することである。【解決手段】光学部材検査方法は、画像の濃淡模様の濃淡変化の方向に平行に画像を複数枚に分割し、分割された画像のそれぞれについて濃淡模様の濃淡変化に水平な方向の平均値を取って1次元のデータを生成し、生成された1次元のデータをスペクトル分布に変換し、1次元スペクトル分布から所定周波数以上の周波数帯に発生する卓越成分を除去たうえで逆変換し、逆変換の結果復号された1次元のデータを用いて被検物の品質を評価する。

請求項（抜粋）：

光学部材の品質を検査するための画像検査装置における光学部材検査方法であって、特に撮影した画像に周期的な濃淡模様が現れる被検物の品質を検査する方法であり、該光学部材検査方法が、前記周期的な濃淡模様が現れるような撮影画像を生成する、画像生成ステップと、前記画像の濃淡模様の濃淡変化の方向に平行に前記画像を複数枚に分割する、分割ステップと、前記分割ステップにて分割された画像のそれぞれについて、濃淡模様の濃淡変化に垂直な方向の平均値を取って1次元のデータを生成する、1次元化ステップと、前記1次元化ステップにて生成された1次元のデータを1次元スペクトル分布に変換する、スペクトル分布変換ステップと、前記1次元スペクトル分布から、所定周波数以上の周波数帯に発生する卓越成分を除去するフィルタリングステップと、前記卓越成分が除去された前記1次元スペクトル分布から1次元のデータを復号する、逆変換ステップと、前記逆変換ステップにて復号された1次元のデータを用いて、所定の評価基準に基づいて前記被検物の品質を評価する、評価ステップと、を有することを特徴とする、光学部材検査方法。

IPC (5件)：

G01M 11/00 , G01N 21/958 , G06T 1/00 300 , G06T 5/20 , G06T 7/60 150

FI (5件)：

G01M 11/00 L , G01N 21/958 , G06T 1/00 300 , G06T 5/20 C , G06T 7/60 150 J

Fターム (35件)：

2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051BB02 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051EA12 , 2G051ED03 , 2G051ED30 , 2G086FF05 , 5B057AA04 , 5B057BA19 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB11 , 5B057CE06 , 5B057CE12 , 5B057DA03 , 5B057DC14 , 5B057DC22 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096CA14 , 5L096DA02 , 5L096EA06 , 5L096EA43 , 5L096FA14 , 5L096FA23 , 5L096FA32 , 5L096FA59 , 5L096GA08 , 5L096GA55

引用特許：

審査官引用 (4件)

欠点検出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-067862 出願人：日本板硝子株式会社
マクロ検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-143607 出願人：シャープ株式会社
特開平2-277177

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