特許
J-GLOBAL ID：200903044939167989
パーティクル測定装置およびパーティクル測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-078505
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264236
出願日： 2000年03月21日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：
【要約】【課題】同時刻でのクリーンルーム内の一定平面領域でのパーティクル数分布を連続して得られるようにする。【解決手段】クリーンルーム内等の浮遊パーティクル数を計測するパーティクルカウンタ3,4として、複数の吸引チューブ2の吸引口5が一定の面領域内に連続的に配置され、かつ、各吸引チューブ2それぞれにパーティクルを計数できるパーティクルカウンタの検知部4が接続されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
所定領域内の浮遊パーティクル数を複数のパーティクルカウンタにより計測するパーティクル測定装置において、前記所定領域内に複数の吸引チューブの吸引口が一定の面積内に連続的に配置され、かつ、前記複数の各吸引チューブそれぞれに前記複数の各パーティクルカウンタの検知部が接続されていることを特徴とするパーティクル測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 15/06 D
, G01N 15/02 A
