特許
J-GLOBAL ID：200903044972643818

紫外線センサ素子及びその製造方法

発明者：
柏葉 安兵衛

柏葉 安兵衛 について

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新倉 郁生

新倉 郁生 について

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遠藤 治之

遠藤 治之 について


出願人/特許権者：
地方独立行政法人 岩手県工業技術センター

地方独立行政法人 岩手県工業技術センター について


代理人 (1件)： 丸岡 裕作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-092223
公開番号（公開出願番号）：特開2006-278487
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】 簡素な構造で適切な受光感度を得ることが可能な紫外線センサ素子及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 紫外線センサ素子は、ステム60に紫外線透過フィルタ72が形成されたキャップ70が溶接されて、チップ50が封止された構造を有する。外部から照射される紫外線は、紫外線透過フィルタ72を透過して、チップ50を構成するチップ状酸化亜鉛単結晶30の受光面である-c面に到達する。チップ状酸化亜鉛単結晶30の-c面に紫外線が到達することによって、チップ状酸化亜鉛単結晶30の抵抗値は変化する。そして、抵抗値の変化に伴って、チップ状酸化亜鉛単結晶30を流れる信号の電流(光電流)の値も変化する。図示しない外部の装置は、端子62に接続されており、信号の電流値を検出し、当該電流値に基づいて、紫外線量を算出することができる。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
酸化亜鉛単結晶により構成され、-c面及びc面を表裏面とするチップと、 前記チップに付設される一対の電極とを有し、 前記チップの-c面を受光面とすることを特徴とする紫外線センサ素子。
IPC (1件)：
H01L 31/026
FI (1件)：
H01L31/08 M
Fターム (12件)：
5F088AA11 ,  5F088AB09 ,  5F088BA07 ,  5F088BB06 ,  5F088DA05 ,  5F088FA05 ,  5F088GA03 ,  5F088JA03 ,  5F088JA07 ,  5F088JA10 ,  5F088JA13 ,  5F088LA05
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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