特許
J-GLOBAL ID：200903044978736010

検査装置

発明者：
税所 博志

税所 博志 について


出願人/特許権者：
株式会社アポロメック

株式会社アポロメック について


代理人 (1件)： 景山 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-303435
公開番号（公開出願番号）：特開2005-069989
出願日： 2003年08月27日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】簡単な構成の装置で液晶パネル等のガラス板の表面、裏面及び内部の欠陥を判別する。【解決手段】検査装置は、ディスプレイパネル用のガラス板Wの欠陥Dを検査するための装置であり、レーザー光を発射させるレーザーダイオード11、集光レンズ12、ライン状の光線にするシリンドリカルレンズ13等を備えたレーザーマーカー1、撮像レンズ21及びCCD受光素子22を備えていて表面正反射光M及び裏面正反射光Nを受光して画像を形成可能なCCDカメラ2、ガラス板をY方向に移動させるライン搬送装置4、カメラ2が形成した画像を取り入れる画像メモリ51及び欠陥判断部52を備えた画像処理装置5、等を有する。欠陥判断部52は、取り入れた画像が表面H、裏面R及び中間Iの欠陥Df,Dr,Diの何れかを含む異常画像であるときに、これが一ヶ所、二カ所又は三ヶ所に出たときにそれぞれR、I又はHに欠陥があると判断する。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
板状透明体の不良部を検査するための検査装置において、 一定の関係位置に配置されている投光部と受光部とで構成された光学系と、前記板状透明体と前記光学系とが一定の方向に相対的に移動可能なように前記板状透明体又は前記光学系のうちの何れか一方を移動可能にする移動機構と、判断部と、を有し、前記投光部は前記板状透明体にレーザー光を投光可能なように構成されていて、前記受光部は前記レーザー光のうち前記板状透明体の表面から正反射した表面正反射光と裏面から正反射した裏面正反射光とを受光して画像を形成可能なように構成されていて、前記判断部は、前記受光部が形成した前記画像を取り入れて該画像が異常画像として前記不良部を含んでいるときに前記異常画像が一ヶ所又は所定の短時間内に前記一定の方向に二カ所もしくは三ヶ所にあるとそれぞれ前記裏面又は前記表面と前記裏面との中間もしくは前記表面に前記不良部があったものと判断することを特徴とする検査装置。
IPC (1件)：
G01N21/896
FI (1件)：
G01N21/896
Fターム (9件)：
2G051AA42 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051ED08
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • ガラス基板の表裏欠陥識別方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-087050   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
  • 特開昭52-130381
  • 特開昭54-106289

前のページに戻る

TOP

BOTTOM