特許
J-GLOBAL ID：200903044996628020
導電性ボールの搭載方法及び搭載装置並びにバンプ形成方法及びバンプ形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-243517
公開番号（公開出願番号）：特開2006-066413
出願日： 2004年08月24日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】本発明は、粘着膜が所定の配列位置に形成された被配列体に該粘着膜を介して導電性ボールを搭載するにあたり、その粘着膜の厚みを比較的精度よく計測して所定厚みの粘着膜に導電性ボールを載置する導電性ボールの搭載方法および搭載装置を提供することを第1の目的としている。【解決手段】本発明の一態様は、透光性を有する有色の粘着膜が所定の配列位置に形成された被配列体に該粘着膜を介して導電性ボールを搭載する導電性ボールの搭載方法であって、前記粘着膜の色を確認しその色に基づいて該粘着膜の厚みを計測する工程を含む導電性ボールの搭載方法である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透光性を有する有色の粘着膜が所定の配列位置に形成された被配列体に該粘着膜を介して導電性ボールを搭載する導電性ボールの搭載方法であって、前記粘着膜の色を検査しその色に基づいて該粘着膜の厚みを計測する工程を含む導電性ボールの搭載方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/92 604T
, H01L21/92 604H
