特許
J-GLOBAL ID：200903045001915656

高純度水製造装置

発明者：
益戸 光和

益戸 光和 について


出願人/特許権者：
栗田工業株式会社

栗田工業株式会社 について


代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-258664
公開番号（公開出願番号）：特開平10-099846
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：
【要約】【課題】 TOC0.3ppb以下の、実質的に有機物を含有しない高純度水を製造する。【解決手段】 原料水を加熱して水蒸気を発生させる水蒸気発生手段2と、発生した水蒸気を加熱して水蒸気中の微量有機物を熱分解する水蒸気加熱手段3と、この水蒸気を冷却して凝縮水を得る冷却凝縮手段4、5と、得られた凝縮水が導入される処理水貯留容器6を備えてなる高純度水製造装置。【効果】 水蒸気中の有機物を高温加熱して熱分解するため、酸素や酸化触媒を必要としない。このため、酸素供給物質中の不純物の混入や酸化触媒を通過することによる汚染の問題がなく、TOC0.3ppb以下の高純度水を得ることができる。
請求項（抜粋）：
原料水を加熱して水蒸気を発生させる水蒸気発生手段と、該水蒸気発生手段で発生した水蒸気を加熱して該水蒸気中の微量有機物を熱分解する水蒸気加熱手段と、該水蒸気加熱手段からの水蒸気を冷却して凝縮水を得る冷却凝縮手段と、得られた凝縮水が導入される処理水貯留容器とを備えてなる高純度水製造装置。
IPC (3件)：
C02F 1/04 ,  C02F 1/02 ,  C02F 1/32
FI (3件)：
C02F 1/04 G ,  C02F 1/02 B ,  C02F 1/32
引用特許：
審査官引用 (3件)

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