特許
J-GLOBAL ID:200903045019335576
光電式流動体センサ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西川 惠清
, 森 厚夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-156853
公開番号(公開出願番号):特開2005-337878
出願日: 2004年05月26日
公開日(公表日): 2005年12月08日
要約:
【課題】小型かつ高感度であり、かつ光検出器の位置管理が容易である光電式流動体センサを提供する。【解決手段】凹面である反射面を互いに対面させて配置される2枚の反射鏡13a,13bを備え、両反射鏡13a,13bの反射面の間にガスを導入する。ガスに光を照射する光源21と、光源21から放射され反射鏡13a,13bで反射された光を受光する光検出器22とを備える。光源21から放射された光が、光検出器22の光軸を含む第1の平面内において光検出器22に平行光線束として入射するように、反射鏡13a,13bと光源21と光検出器22との寸法および位置が規定される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
反射面を互いに対面させて配置される第1および第2の反射鏡と、第1の反射鏡と第2の反射鏡との間の検出空間に導入される流動体に光を照射する光源と、光源から放射され第1および第2の反射鏡で反射された光を受光するとともに受光強度に応じた電気出力を発生する光検出器とを備え、光検出器の光軸を含む一つの平面である第1の平面内において第1および第2の反射鏡のうちの少なくとも一方の反射面は凹面であって、光源から検出空間に対して放射された光が少なくとも第1の平面内において光検出器に平行光線束として入射するように第1および第2の反射鏡と光源と光検出器との寸法および位置が規定されていることを特徴とする光電式流動体センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (21件):
2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059BB04
, 2G059CC04
, 2G059CC09
, 2G059CC13
, 2G059CC15
, 2G059CC19
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059GG07
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ02
, 2G059JJ14
, 2G059KK01
, 2G059KK09
, 2G059LL03
, 2G059MM05
, 2G059MM09
, 2G059PP04
引用特許:
出願人引用 (2件)
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赤外線ガス分析計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-058464
出願人:株式会社堀場製作所
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赤外線ガス分析計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-190682
出願人:株式会社堀場製作所
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