極端紫外光源装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：宇都宮正明 , 渡部温 , 柳瀬睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-276163
公開番号（公開出願番号）：特開2007-088267
出願日： 2005年09月22日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】露光のために用いるエネルギーの安定したEUV光を発生するLPP型極端紫外光源装置を提供する。【解決手段】ターゲット射出装置23と、レーザ発振器42と、コレクタミラー13と、集光光の内から所定の波長成分を有するEUV光を選択的に透過させるフィルタ14と、発光点におけるEUV光のエネルギーを測定するEUVエネルギーモニタ装置50と、集光点におけるEUV光のエネルギーを測定するEUVダイオード63と、EUVエネルギーモニタ装置の測定値E1とEUVダイオードの測定値E2との関係を格納する記憶装置10aと、測定値E1と上記関係とに基づいて露光機に出力されるEUVエネルギーを算出すると共に、測定値E1と測定値E2とに基づいて上記関係を補正する制御装置10とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空チャンバの内部に供給されたターゲット物質に、該ターゲット物質を励起させるためのレーザ光を照射することによりプラズマを生成し、該プラズマから発生する極端紫外光を集光ミラーによって所定の位置に集光して露光機に出力するレーザ励起プラズマ方式による極端紫外光源装置であって、ターゲット物質を前記真空チャンバ内に供給するターゲット射出装置と、前記ターゲット射出装置によって供給されたターゲット物質を励起してプラズマを生成するためのレーザ光を射出するレーザ発振器と、プラズマから発生した光を所定の位置に集光する集光ミラーと、前記集光ミラーによって集光された光の内から、所定の波長成分を有する極端紫外光を選択的に透過させるフィルタと、プラズマから直接放射される極端紫外光のエネルギーを測定する第1の受光素子と、前記集光ミラーによって集光された光の光路上に挿入されたときに、前記集光ミラーによって集光された極端紫外光のエネルギーを測定する第2の受光素子と、前記第1の受光素子によって取得される第1の測定値と、前記第2の受光素子によって取得される第2の測定値との関係を格納する格納装置と、前記第1の測定値と前記格納装置に格納されている前記関係とに基づいて、前記露光機に出力される極端紫外光のエネルギーを算出すると共に、前記第1の測定値と前記第2の測定値とに基づいて前記関係を補正する制御装置と、を具備する極端紫外光源装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 , G21K 5/08

FI (3件)：

H01L21/30 531S , G03F7/20 521 , G21K5/08 X

Fターム (10件)：

2G065AA04 , 2G065AB05 , 2G065BA04 , 2G065BA09 , 2G065BB25 , 5F046DA01 , 5F046DB01 , 5F046DC01 , 5F046GA14 , 5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (5件)

露光方法及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-256289 出願人：株式会社日立製作所
X線露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-175584 出願人：株式会社東芝
EUV光源スペクトル計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-299649 出願人：キヤノン株式会社

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