真空吸着テーブル装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：中野雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-154414
公開番号（公開出願番号）：特開平6-339830
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】吸着したワークの取り出しを簡単に行なうことができる真空吸着テーブル装置を提供する【構成】表面に真空吸引孔12とピン突出孔16を設けられたテーブル盤5の内部にバキュームチャンバ15を形成し、バキュームチャンバ15内に昇降ベース17を納める。昇降ベース17のピン突出孔16と対向する適宜位置にはエジェクタピン19を立てる。昇降ベース17を上昇させると、エジェクタピン19がピン突出孔16から突出し、テーブル盤5に吸着されていたワーク2を剥離させる。

請求項（抜粋）：

テーブル盤の表面にワークを吸着させるための真空吸引孔を形成し、ワークをテーブル盤から剥離させるためのエジェクタピンの先端部をテーブル盤の表面に設けたピン突出孔から突出させるようにした真空吸着テーブル装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-308336
特開昭62-249446
特公昭60-048320

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