特許

J-GLOBAL ID：200903045080539915

表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法

発明者： 春名 和幸 ,  岸 一彦
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-051069
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248641
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】 表面欠陥の2次判定の精度を高める。【解決手段】 スキャンカメラ6からの撮像信号が撮像信号記憶部73に常時入力されており、2次元画像が作成される。制御部74は、1次判定による表面欠陥が存在する単位領域がスキャンカメラ6の撮像位置を通過したタイミングをとって、1次判定で検出された表面欠陥に対応する2次元画像の部分を欠陥画像として抽出する。抽出された欠陥画像がデータベースとして保存装置9に保存される。モニタ8は通常は1次判定の結果を表示しているが、オペレータにより2次判定を行なう指示が与えられた際に、指定された表面欠陥に対する欠陥画像が表示され、2次判定が行なわれる。

請求項（抜粋）：

搬送される検査対象の表面欠陥を検出器により検出する1次判定の結果、2次判定が必要である場合に、撮像器により撮像された前記検査対象の撮像信号を用いて2次判定を行なう表面欠陥検査装置において、前記撮像器は、前記検査対象の搬送方向に交わる方向に撮像位置を走査せしめる線走査撮像器であり、前記撮像信号が連続入力されて2次元画像を作成する2次元画像作成部と、前記1次判定により検出された表面欠陥に対応する欠陥画像を前記2次元画像から抽出する欠陥画像抽出部とを備えることを特徴とする表面欠陥検査装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 表面欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-240118   出願人：住友金属工業株式会社
• 特開平1-162137