鏡面仕上げ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：磯野道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-342071
公開番号（公開出願番号）：特開2004-349675
出願日： 2003年09月30日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：

【課題】メカノケミカル研削手段による鏡面仕上げ加工であっても、研削(研磨)加工に伴って発生する切粉等をワークの周辺から除去して清浄に維持し、かつ摩擦熱が蓄積して過熱しないように冷却する洗浄冷却しながらも、水濡れを嫌う性質の鏡面仕上げ加工を効率良くできるようにした鏡面仕上げ装置を提供する。【解決手段】ワーク10の被研削(研磨)面に摺接可能な研削手段と、前記研削手段を濡らさないように前記ワーク10の研削手段と摺接しない部位を清浄に維持し冷却する洗浄冷却手段と、を備えた。また、研削手段の材質に関し、体積比率で25%以上の砥粒を含有する、JISに基づく吸水時間が5秒以下、気孔の体積比率が40%以上、連続した気孔の構造をもつ条件、ゴム硬度が10以上30以下である条件の何れかの条件に適合した多孔質体でなるメカノケミカル砥石30を用いた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ワークの被研削面に摺接可能な研削手段と、前記研削手段を濡らさないようにして、前記ワークの研削手段と摺接していない部位を清浄に維持し冷却する洗浄冷却手段と、を備えたことを特徴とする鏡面仕上げ装置。

IPC (5件)：

H01L21/304 , B08B1/04 , B08B3/02 , B24B7/22 , B24B55/02

FI (10件)：

H01L21/304 621C , H01L21/304 622Q , H01L21/304 622R , H01L21/304 643A , H01L21/304 644A , H01L21/304 644C , B08B1/04 , B08B3/02 B , B24B7/22 Z , B24B55/02 B

Fターム (29件)：

3B116AA03 , 3B116AB34 , 3B116AB42 , 3B116BA01 , 3B116BA13 , 3B116BB38 , 3B116BB82 , 3B116CC03 , 3B116CD34 , 3B116CD41 , 3B201AA03 , 3B201AB34 , 3B201AB42 , 3B201BA01 , 3B201BA13 , 3B201BB38 , 3B201BB82 , 3B201BB92 , 3B201CC12 , 3B201CD34 , 3B201CD41 , 3C043BB00 , 3C043CC04 , 3C043CC05 , 3C043DD06 , 3C047FF03 , 3C047FF08 , 3C047FF19 , 3C047GG05

引用特許：

出願人引用 (1件)

エッチング機能付き研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-029304 出願人：株式会社ディスコ

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