特許
J-GLOBAL ID：200903045129310064

感光性組成物

発明者：
後河内 透

後河内 透 について

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沖野 剛史

沖野 剛史 について

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浅川 鋼児

浅川 鋼児 について

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中瀬 真

中瀬 真 について

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信田 直美

信田 直美 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-221230
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127691
出願日： 1996年08月22日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】【課題】 良好な解像性、再現性を有するとともに、短波長の紫外線に対する高い透明性や十分なドライエッチング耐性を示す感光性組成物を提供する。【解決手段】 酸分解性を有する樹脂、光酸発生剤、および分子量2000以下のナフトールノボラック化合物を含有する感光性組成物である。前記酸分解性基を有する樹脂は、脂環式骨格を有する重合性化合物を単量体とする共重合体であることが好ましい。
請求項（抜粋）：
酸分解性を有する樹脂、光酸発生剤、および分子量2000以下のナフトールノボラック化合物を含有する感光性組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/023 511 ,  C08L 61/10 LMY ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
G03F 7/023 511 ,  C08L 61/10 LMY ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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