特許

J-GLOBAL ID：200903045185054690

プローブステーション用チャック

発明者： ジョン ダンクリー
出願人/特許権者： カスケード マイクロテック インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-269039
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170867
出願日： 2001年09月05日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 プローブをウエハに加えた時、ウエハを支持する上部チャック組立体素子が平面性を失わないチャックを提供する。【解決手段】 このチャックはウエハを支持するようにした上面198を有する上部チャック組立体素子180を具え、更に、上部チャック組立体素子と、その下の中央チャック組立体素子182との間に、間隔を画成する3個の独立したピン204を有し、上部チャック組立体素子180に連結されたチャック離間装置とを具える。このチャック離間装置は中央チャック組立体素子の上面224に押圧掛合する第1面と、導電U字状部材の第1面に押圧掛合する第2面とを有する絶縁U字状部材を有する。導電U字状部材の第2面は上部チャック組立体素子の下面に押圧掛合する。絶縁U字状部材の第1面の厚さは導電U字状部材の厚さの1/3より薄い。

請求項（抜粋）：

(a)ウエハを支持するのに適する上面を有する第1チャック組立体素子と、(b)前記第1チャック組立体素子と、他のチャック組立体素子との間に間隔を画成する正確に3個の独立した支持体を有し、前記第1チャック組立体素子に連結されたチャック離間装置とを具えることを特徴とするプローブステーション用チャック。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66 ,  G01R 1/06

FI (6件)：

H01L 21/68 P ,  G01R 31/26 Z ,  H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/28 J ,  G01R 31/28 K

Fターム (37件)：

2G003AA10 ,  2G003AF03 ,  2G003AG04 ,  2G003AG11 ,  2G003AG16 ,  2G003AG20 ,  2G003AH05 ,  2G011AA16 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G132AA00 ,  2G132AB01 ,  2G132AE03 ,  2G132AE04 ,  2G132AF00 ,  2G132AF04 ,  2G132AL04 ,  2G132AL19 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106CA10 ,  4M106CA11 ,  4M106CA13 ,  4M106DD01 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  5F031CA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA12 ,  5F031HA14 ,  5F031MA33 ,  5F031PA14 ,  5F031PA16

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-140563   出願人：東京エレクトロン山梨株式会社
• 特開昭63-069250
  
• プローブステーション
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-135963   出願人：カスケードマイクロテックインコーポレイテッド
• 特開昭63-069250