フォトレジストフィルム

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-252945
公開番号（公開出願番号）：特開平8-095239
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】蛍光体の分散不良を起こさず常時蛍光体の分散安定性に優れたフォトレジスト層を供給すると共に10μm以上の硬化レジスト層を形成し、パターン形成精度にも優れ、更にはガラス等の基板への密着性にも優れたフォトレジストフィルムを提供すること。【構成】蛍光体及び無機質粉末を含有せしめた感光性樹脂組成物をベースフイルムに積層してなるフォトレジストフィルム。

請求項（抜粋）：

蛍光体及び無機質粉末を含有せしめた感光性樹脂組成物をベースフイルムに積層してなることを特徴とするフォトレジストフィルム。

IPC (9件)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 505 , C09K 11/54 CPS , C09K 11/64 CPM , C09K 11/78 CPL , G03F 7/028 , G03F 7/033 , H01J 9/227

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-051241
特開昭51-061488
特開昭51-032271

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